വലിയ തോതിലുള്ള ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ തുടർച്ചയായ വികസനത്തോടെ, ചിപ്പ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ കൂടുതൽ കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണമാവുകയാണ്, കൂടാതെ സെമികണ്ടക്ടർ വസ്തുക്കളുടെ അസാധാരണമായ സൂക്ഷ്മഘടനയും ഘടനയും ചിപ്പ് വിളവ് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് തടസ്സമാകുന്നു, ഇത് പുതിയ സെമികണ്ടക്ടറുകളുടെയും ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെയും നടപ്പാക്കലിന് വലിയ വെല്ലുവിളികൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നു.
സെമികണ്ടക്ടർ, ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് പ്രക്രിയകൾ മെച്ചപ്പെടുത്താൻ ഉപഭോക്താക്കളെ സഹായിക്കുന്നതിന് സമഗ്രമായ സെമികണ്ടക്ടർ മെറ്റീരിയൽ മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ വിശകലനവും വിലയിരുത്തലും GRGTEST നൽകുന്നു, വേഫർ ലെവൽ പ്രൊഫൈലും ഇലക്ട്രോണിക് വിശകലനവും തയ്യാറാക്കൽ, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണവുമായി ബന്ധപ്പെട്ട വസ്തുക്കളുടെ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ ഗുണങ്ങളുടെ സമഗ്രമായ വിശകലനം, സെമികണ്ടക്ടർ മെറ്റീരിയൽ മലിനീകരണ വിശകലന പരിപാടിയുടെ രൂപീകരണവും നടപ്പാക്കലും എന്നിവ ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു.
അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കൾ, ജൈവ ചെറിയ തന്മാത്ര വസ്തുക്കൾ, പോളിമർ വസ്തുക്കൾ, ജൈവ/അജൈവ ഹൈബ്രിഡ് വസ്തുക്കൾ, അജൈവ ലോഹേതര വസ്തുക്കൾ
1. ഫോക്കസ്ഡ് അയോൺ ബീം ടെക്നോളജി (DB-FIB), ചിപ്പിന്റെ ലോക്കൽ ഏരിയയുടെ കൃത്യമായ കട്ടിംഗ്, തത്സമയ ഇലക്ട്രോണിക് ഇമേജിംഗ് എന്നിവയെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ചിപ്പ് വേഫർ ലെവൽ പ്രൊഫൈൽ തയ്യാറാക്കലും ഇലക്ട്രോണിക് വിശകലനവും, ചിപ്പ് പ്രൊഫൈൽ ഘടന, ഘടന, മറ്റ് പ്രധാന പ്രക്രിയ വിവരങ്ങൾ എന്നിവ നേടാൻ കഴിയും.
2. ഓർഗാനിക് പോളിമർ വസ്തുക്കൾ, ചെറിയ തന്മാത്ര വസ്തുക്കൾ, അജൈവ ലോഹേതര വസ്തുക്കളുടെ ഘടന വിശകലനം, തന്മാത്രാ ഘടന വിശകലനം മുതലായവ ഉൾപ്പെടെയുള്ള അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ വസ്തുക്കളുടെ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ ഗുണങ്ങളുടെ സമഗ്രമായ വിശകലനം;
3. സെമികണ്ടക്ടർ വസ്തുക്കൾക്കായുള്ള മലിനീകരണ വിശകലന പദ്ധതി രൂപപ്പെടുത്തുകയും നടപ്പിലാക്കുകയും ചെയ്യുക. രാസഘടന വിശകലനം, ഘടക ഉള്ളടക്ക വിശകലനം, തന്മാത്രാ ഘടന വിശകലനം, മറ്റ് ഭൗതിക, രാസ സ്വഭാവ വിശകലനം എന്നിവയുൾപ്പെടെ മലിനീകരണ വസ്തുക്കളുടെ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ സവിശേഷതകൾ പൂർണ്ണമായി മനസ്സിലാക്കാൻ ഇത് ഉപഭോക്താക്കളെ സഹായിക്കും.
സേവനംതരം | സേവനംഇനങ്ങൾ |
സെമികണ്ടക്ടർ വസ്തുക്കളുടെ മൂലക ഘടന വിശകലനം | l EDS മൂലക വിശകലനം, എക്സ്-റേ ഫോട്ടോഇലക്ട്രോൺ സ്പെക്ട്രോസ്കോപ്പി (XPS) മൂലക വിശകലനം |
സെമികണ്ടക്ടർ വസ്തുക്കളുടെ തന്മാത്രാ ഘടന വിശകലനം | l FT-IR ഇൻഫ്രാറെഡ് സ്പെക്ട്രം വിശകലനം, l എക്സ്-റേ ഡിഫ്രാക്ഷൻ (XRD) സ്പെക്ട്രോസ്കോപ്പിക് വിശകലനം, l ന്യൂക്ലിയർ മാഗ്നറ്റിക് റെസൊണൻസ് പോപ്പ് അനാലിസിസ് (H1NMR, C13NMR) |
സെമികണ്ടക്ടർ വസ്തുക്കളുടെ സൂക്ഷ്മഘടന വിശകലനം | l ഡബിൾ ഫോക്കസ്ഡ് അയോൺ ബീം (DBFIB) സ്ലൈസ് വിശകലനം, l ഫീൽഡ് എമിഷൻ സ്കാനിംഗ് ഇലക്ട്രോൺ മൈക്രോസ്കോപ്പി (FESEM) സൂക്ഷ്മ രൂപഘടന അളക്കുന്നതിനും നിരീക്ഷിക്കുന്നതിനും ഉപയോഗിച്ചു, l ഉപരിതല രൂപഘടന നിരീക്ഷണത്തിനുള്ള ആറ്റോമിക് ഫോഴ്സ് മൈക്രോസ്കോപ്പി (AFM) |