അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ വിശകലനവും വിലയിരുത്തലും
സേവന ആമുഖം
വലിയ തോതിലുള്ള ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ തുടർച്ചയായ വികസനത്തോടെ, ചിപ്പ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണമാവുകയാണ്, കൂടാതെ അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ അസാധാരണമായ സൂക്ഷ്മഘടനയും ഘടനയും ചിപ്പ് വിളവ് മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് തടസ്സമാകുന്നു, ഇത് പുതിയ അർദ്ധചാലകവും സംയോജിതവും നടപ്പിലാക്കുന്നതിന് വലിയ വെല്ലുവിളികൾ നൽകുന്നു. സർക്യൂട്ട് സാങ്കേതികവിദ്യകൾ.
GRGTEST സമഗ്രമായ അർദ്ധചാലക മെറ്റീരിയൽ മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ വിശകലനവും മൂല്യനിർണ്ണയവും നൽകുന്നു, അർദ്ധചാലകവും ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് പ്രക്രിയകളും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഉപഭോക്താക്കളെ സഹായിക്കുന്നതിന്, വേഫർ ലെവൽ പ്രൊഫൈൽ തയ്യാറാക്കൽ, ഇലക്ട്രോണിക് വിശകലനം, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണവുമായി ബന്ധപ്പെട്ട വസ്തുക്കളുടെ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ ഗുണങ്ങളുടെ സമഗ്രമായ വിശകലനം, സെമികണ്ടക്റ്റർ മെറ്റീരിയൽ വിശകലനം, അർദ്ധചാലക പദാർത്ഥങ്ങളുടെ രൂപീകരണം, നടപ്പിലാക്കൽ പ്രോഗ്രാം.
സേവന വ്യാപ്തി
അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കൾ, ഓർഗാനിക് സ്മോൾ മോളിക്യൂൾ മെറ്റീരിയലുകൾ, പോളിമർ മെറ്റീരിയലുകൾ, ഓർഗാനിക്/അജൈവ ഹൈബ്രിഡ് മെറ്റീരിയലുകൾ, അജൈവ നോൺ മെറ്റാലിക് മെറ്റീരിയലുകൾ
സേവന പരിപാടി
1. ചിപ്പ് വേഫർ ലെവൽ പ്രൊഫൈൽ തയ്യാറാക്കലും ഇലക്ട്രോണിക് വിശകലനവും അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ഫോക്കസ്ഡ് അയോൺ ബീം ടെക്നോളജി (DB-FIB), ചിപ്പിൻ്റെ ലോക്കൽ ഏരിയയുടെ കൃത്യമായ കട്ടിംഗ്, തത്സമയ ഇലക്ട്രോണിക് ഇമേജിംഗ് എന്നിവയ്ക്ക് ചിപ്പ് പ്രൊഫൈൽ ഘടനയും ഘടനയും മറ്റും ലഭിക്കും. പ്രധാനപ്പെട്ട പ്രക്രിയ വിവരങ്ങൾ;
2. ഓർഗാനിക് പോളിമർ മെറ്റീരിയലുകൾ, ചെറിയ മോളിക്യൂൾ മെറ്റീരിയലുകൾ, അജൈവ നോൺ-മെറ്റാലിക് മെറ്റീരിയലുകളുടെ ഘടന വിശകലനം, തന്മാത്രാ ഘടന വിശകലനം മുതലായവ ഉൾപ്പെടെയുള്ള അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ വസ്തുക്കളുടെ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ ഗുണങ്ങളുടെ സമഗ്രമായ വിശകലനം;
3. അർദ്ധചാലക സാമഗ്രികൾക്കായുള്ള മലിനീകരണ വിശകലന പദ്ധതിയുടെ രൂപീകരണവും നടപ്പാക്കലും.രാസഘടന വിശകലനം, ഘടക ഉള്ളടക്ക വിശകലനം, തന്മാത്രാ ഘടന വിശകലനം, മറ്റ് ഭൗതിക, രാസ സ്വഭാവസവിശേഷതകളുടെ വിശകലനം എന്നിവയുൾപ്പെടെ മലിനീകരണത്തിൻ്റെ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ സവിശേഷതകൾ പൂർണ്ണമായി മനസ്സിലാക്കാൻ ഉപഭോക്താക്കളെ ഇത് സഹായിക്കും.
സേവന ഇനങ്ങൾ
| സേവനംതരം | സേവനംഇനങ്ങൾ |
| അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ മൂലക ഘടന വിശകലനം | l EDS മൂലക വിശകലനം, l എക്സ്-റേ ഫോട്ടോ ഇലക്ട്രോൺ സ്പെക്ട്രോസ്കോപ്പി (XPS) മൂലക വിശകലനം |
| അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ തന്മാത്രാ ഘടന വിശകലനം | l FT-IR ഇൻഫ്രാറെഡ് സ്പെക്ട്രം വിശകലനം, l എക്സ്-റേ ഡിഫ്രാക്ഷൻ (XRD) സ്പെക്ട്രോസ്കോപ്പിക് വിശകലനം, ന്യൂക്ലിയർ മാഗ്നെറ്റിക് റെസൊണൻസ് പോപ്പ് അനാലിസിസ് (H1NMR, C13NMR) |
| അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ വിശകലനം | l ഇരട്ട ഫോക്കസ്ഡ് അയോൺ ബീം (DBFIB) സ്ലൈസ് വിശകലനം, l ഫീൽഡ് എമിഷൻ സ്കാനിംഗ് ഇലക്ട്രോൺ മൈക്രോസ്കോപ്പി (FESEM) മൈക്രോസ്കോപ്പിക് രൂപഘടന അളക്കാനും നിരീക്ഷിക്കാനും ഉപയോഗിച്ചു, l ഉപരിതല രൂപശാസ്ത്ര നിരീക്ഷണത്തിനുള്ള ആറ്റോമിക് ഫോഴ്‌സ് മൈക്രോസ്കോപ്പി (AFM). |
